формирование рисунка с элементами субмикронного размера

paveikslo su submikrometriniais elementais sukūrimas statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. submicron patterning vok. Submikrometerstrukturerzeugung, f rus. формирование рисунка с элементами субмикронного размера, n pranc. imagerie à éléments submicroniques, f